用碱性抛光液化学机械抛光304不锈钢片研究

陈佳鹏; 陈绍坤; 李庆; 秦洪权; 苏建修

doi:10.13394/j.cnki.jgszz.2016.2.0002

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用碱性抛光液化学机械抛光304不锈钢片研究

doi: 10.13394/j.cnki.jgszz.2016.2.0002

1. 河南科技学院机电学院, 河南新乡 453003;
2. 驻马店技师学院机械工程系, 河南驻马店 463000;
3. 河南理工大学机械与动力工程学院, 河南焦作 454000

基金项目:

国家自然科学基金面上项目（No.51375149）

详细信息

作者简介:
陈佳鹏,男,1991年生,硕士研究生。主要从事超精密加工理论与技术研究。E-mail:15937311032163.com

通讯作者:
苏建修,男,1963年生,教授、博士,研究生导师。研究方向:超精密加工理论与技术。E-mail:dlutsu2004@126.com

中图分类号: TG732;TH162;TN27
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出版历程
- 修回日期: 2016-01-05
- 网络出版日期: 2022-07-27

Study on chemical mechanical polishing of 304 stainless steel sheet based on alkaline polishing slurry

1. School of Mechanical and Electrical Engineering, Henan Institute of Science and Technology, Xinxiang 453003, Henan, China;
2. Department of Mechanical Engineering, Zhumadian Technician College, Zhumadian 463000, Henan, China;
3. School of Mechanical and Power Engineering, Henan Polytechnic University, Jiaozuo 454000, Henan, China

摘要

摘要: 为提高化学机械抛光的加工效果，我们研究了pH值、氧化剂种类和氧化剂含量对材料去除率和表面粗糙度的影响。结果表明：不同氧化剂的抛光液在各自的最佳pH值时达到最大的材料去除率，分别为181 nm/min（H₂O₂抛光液，pH=9），177 nm/min（Cr₂O₃抛光液，pH=11），172 nm/min（Na₂Cr₂O₇抛光液，pH=11）和147 nm/min（NaClO抛光液，pH=13）；抛光液中氧化剂含量、pH值对抛光后不锈钢的表面粗糙度影响较小。其中，材料去除率较高的H₂O₂和Cr₂O₃可作为304不锈钢化学机械抛光碱性抛光液的氧化剂。
- 304不锈钢 /
- 碱性抛光液 /
- pH值 /
- 氧化剂 /
- 化学机械抛光 /
- 材料去除率
Abstract: To improve the effect of chemical mechanical polishing(CMP),the influence of oxidant and pH value on the material removal rate(MRR)and surface roughness has been studied.The results show that different oxidants obtain maximum MRRs at different optimal pH values,namely 181nm/min for hydrogen peroxide at pH=9,177 nm/min for chromic oxide at pH=11,172 nm/min for sodium dichromate at pH=11,and 147 nm/min for sodium hypochlorite oxidant at pH=11.It is also shown that the type of oxidant,the content of oxidant and the pH value in CMP slurry have little influence on the surface roughness of stainless steel in CMP 304 stainless steel.Due to high MRR,hydrogen peroxide and chromic oxide can be used as oxidants of alkaline slurry for polishing 304 stainless steel.
- 304stainless steel /
- alkaline slurry /
- pH value /
- oxidant /
- chemical mechanical polishing /
- material removal rate