CN 41-1243/TG ISSN 1006-852X

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四氧化三铁特性对单晶SiC固相芬顿反应研磨丸片性能的影响

路家斌 曹纪阳 邓家云 阎秋生 胡达

路家斌, 曹纪阳, 邓家云, 阎秋生, 胡达. 四氧化三铁特性对单晶SiC固相芬顿反应研磨丸片性能的影响[J]. 金刚石与磨料磨具工程. doi: 10.13394/j.cnki.jgszz.2022-0008
引用本文: 路家斌, 曹纪阳, 邓家云, 阎秋生, 胡达. 四氧化三铁特性对单晶SiC固相芬顿反应研磨丸片性能的影响[J]. 金刚石与磨料磨具工程. doi: 10.13394/j.cnki.jgszz.2022-0008
Effect of Fe3O4 Characteristics on Properties of Solid-phase Fenton Reaction Lapping Pellets for Single-Crystal SiC[J]. Diamond &Abrasives Engineering. doi: 10.13394/j.cnki.jgszz.2022-0008
Citation: Effect of Fe3O4 Characteristics on Properties of Solid-phase Fenton Reaction Lapping Pellets for Single-Crystal SiC[J]. Diamond &Abrasives Engineering. doi: 10.13394/j.cnki.jgszz.2022-0008

四氧化三铁特性对单晶SiC固相芬顿反应研磨丸片性能的影响

doi: 10.13394/j.cnki.jgszz.2022-0008

Effect of Fe3O4 Characteristics on Properties of Solid-phase Fenton Reaction Lapping Pellets for Single-Crystal SiC

  • 摘要: 为提高单晶SiC研磨加工质量和加工效率,制备了固相芬顿反应研磨丸片,研究了固相催化剂Fe3O4粒径和浓度对研磨丸片物理性能(硬度、抗弯强度、气孔率)、催化性能及其对单晶SiC研磨加工性能的影响。结果表明,随着Fe3O4粒径的增大,丸片的硬度、抗弯强度、气孔率和催化性能都减小,材料去除率(MRR)从43.12 nm/min降低到36.82 nm/min,表面粗糙度(Ra)从1.06 nm增加到3.72 nm。随着Fe3O4浓度的增大,丸片的硬度和抗弯强度减小,气孔率和催化性能增强,虽然MRR有所降低,但表面粗糙度先降低后增加,MRR从40.14 nm/min下降到33.51 nm/min,表面粗糙度(Ra)分别为3.25 nm、1.75 nm和1.88 nm。在本实验中,当Fe3O4粒径为0.5 µm、浓度为29 wt.%时加工效果最好,MRR为43.13 nm/min,表面粗糙度达到Ra 1.06 nm。

     

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出版历程
  • 录用日期:  2022-04-11
  • 收稿日期:  2022-02-14
  • 修回日期:  2022-03-23
  • 网络出版日期:  2022-04-15

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